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菲尼克斯传感器技能的开展方向

        菲尼克斯传感器资料是传感器技能的主要根底,跟着资料科学的前进,传感器技能日臻老练,其品种不断增加,除了早期运用的半导体资料、陶瓷资料以外,光导纤维以及超导资料的开发,为传感器的开展供给了物质根底。例如,根据以硅为基体的多半导体资料易于微型化、集成化、多功用化、智能化,以及半导体光热探测器具有活络度高、精度高、非触摸性等特色,开展红外传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器;在灵敏资猜中,陶瓷资料、有机资料开展快,可选用不一样的配方混合质料,在精细分配化学成分的根底上,通过 成型烧结,得到对某一种或某几种气体具有辨认功用的灵敏资料,用于制成新式气体传感器。
 
         菲尼克斯传感器技能的不断开展,也促进了新式资料的开发,如纳米资料等。纳米气体传感器,操控机动车辆尾气的排放,对净化环境作用较好,使用远景对比广阔。因为选用纳米资料制造的传感器,具有庞大的界面,能供给多的气体通道,并且导通电阻小,有利于传感器向微型化开展,跟着科学技能的不断前进将有多的新式资料诞生。 在开展新式传感器中,离不开新技能的选用。该技能又称微机械加工技能,是这些年跟着集成电路技能开展起来的,它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技能,新增传感器范畴:如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积(CVD)、外延、扩散、腐蚀、光刻等。

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